精密行星減速機的精度高低取決于不同因素影響，其中齒輪的加工工藝環節尤為重要，一些工廠在普通插齒加工基礎上，對硬齒面插齒工藝的研究也取得了進步。目前，基本可插制48HRC左右的硬齒面７級精度齒輪。
在加工時須注意以下幾點事項：
1、提高插齒機床的剛度和精度，提高傳動鏈精度；
2、采用高精度插齒刀（ 2a級插齒刀），嚴格控制刀具的安裝偏心；
3、提高行星齒圈和夾具的精度；
4、選取合理的進給次數和加工進給量等。
精密行星減速機齒輪的精細加工和精密研磨，可提高精密度和有效降低噪音，并增加使用壽命。
